千级无尘车间的设计要求

电子洁净室的设计基于芯片生产车间的、集成电路洁净室和磁盘制作车间。除了严厉操控粒子外，温湿度的操控是、。照明(乃至光源的要求)微震等要求更加严厉，消除了静电对生产产品的影响，使环境满意电子产品在清洁环境中的生产工艺要求。

洁净室(区域)温、湿度应依据生产工艺要求确定。当生产过程没有特殊要求时，其温度可依据20~26℃，相对湿度30%~70%运用。人员净化室和客厅的温度可在16~28°C运用。依据符合世界ISO标志的国家标准我国，洁净室(区)的洁净度等级为1-9，电子洁净室，其中1-5，气流形式为单向活动或混合活动 6级气流形式为非单向活动，换气次数为50-60次/ h; 7级气流形式为非单向活动，空气交流次数为15-25次/ h; 8-9气流活动形式对错单向活动，换气次数为10-15次/ h。

穿过洁净室(区域)天花板的各种开口的气密性是保证洁净室(区域)清洁和防止污染的重要措施。洁净室和天花板结构的平整度操控取决于龙骨接点的丈量。精度、水平应逐一丈量，龙骨的下平面通过调整整个钢丝吊架的长度保持在规则的差错范围内。顶板的周边应紧密连接到墙壁上，接头应齐平并密封良好。天花板的高度为、,、板之间的空隙应符合设计要求。 “标准”规则每块板之间空隙的答应差错不应超过0.5毫米，密封剂均匀密封。依据洁净室施工的实践，上述规则是可行的，也能够做到。

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