洁净室复合气流特性简介 

复合类型是将湍流和层流合并或合并，可提供局部超净空气。 

（1）清洁隧道：使用HEPA或ULPA过滤器对过程区域或工作区域进行100％的覆盖，可将清洁度提高到10以上，从而可以节省安装和运营成本。 这种类型需要将操作员的工作区域与产品和机器维护隔离开，以避免在机器维护期间影响工作和质量。此类型主要用于ULSI流程中。 清洁的隧道还有另外两个优点：A.灵活的扩展很容易； B.设备的维护可以在维护区域轻松进行。 

（2）清洁管：封闭并净化产品加工过程所通过的自动生产线，并将清洁度提高到100以上。由于产品与操作员和粉尘产生环境隔离，因此少量空气可以获得良好的清洁度，可以节省能源，最不需要人工的自动化生产线。适用于制药，食品和半导体行业。 

（3）组合式局部洁净室（Clean Spot）：将湍流洁净室中产品加工区的洁净度水平从10,000到100,000提高到10到1,000或更高；干净的工作台，干净的工作棚和干净的风柜属于此类。 无尘工作台：1〜100级。 洁净棚：为了用防静电透明塑料布在动荡的洁净室空间内围成一小块空间，请使用独立的HEPA或ULPA和空调鼓风机单元作为更高级别的洁净空间，等级为10〜 1000，高度约为2.5米，占地面积小于10m2，可使用四个支柱和附加的可移动轮以提高灵活性。

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